一種適用于濕法設(shè)備的FFU系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)循環(huán)結(jié)構(gòu)
技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及濕法設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，更具體的說是涉及一種適用于濕法設(shè)備的FFU系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)循環(huán)結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)

濕法設(shè)備包括外殼，外殼內(nèi)包括氣流空間、機(jī)器手臂區(qū)域、工藝槽體區(qū)域和抽氣區(qū)域，工藝槽體區(qū)域位于機(jī)器手臂區(qū)域和抽氣區(qū)域之間，抽氣區(qū)域外側(cè)設(shè)置有抽氣設(shè)備，氣流空間位于機(jī)械手臂區(qū)域和工藝槽體區(qū)域上方，機(jī)器手臂區(qū)域和工藝槽體區(qū)域之間設(shè)置有第一隔板，工藝槽體區(qū)域內(nèi)設(shè)置有第二隔板，工藝槽體區(qū)域和排氣區(qū)域之間設(shè)置有第三隔板，外殼頂面上設(shè)置有FFU系統(tǒng)，F(xiàn)FU系統(tǒng)包括FFU殼體；

工藝槽體區(qū)域中會(huì)進(jìn)行濕法化學(xué)反應(yīng)，化學(xué)反應(yīng)會(huì)產(chǎn)生酸氣，一部分酸氣會(huì)向上揮發(fā)至氣流空間，酸氣會(huì)對(duì)濕法設(shè)備內(nèi)的機(jī)器造成腐蝕，從而影響機(jī)器的使用壽命，因此需要對(duì)酸氣進(jìn)行處理，通常使用抽氣設(shè)備將酸氣抽出至設(shè)備外部，抽氣設(shè)備工作時(shí)，工藝槽體區(qū)域內(nèi)的壓力和溫度會(huì)發(fā)生變化，使得濕法化學(xué)反應(yīng)過程中產(chǎn)生的液體形成凝結(jié)液，酸氣抽出的同時(shí)通過FFU系統(tǒng)向外殼內(nèi)部注入新鮮的氣流；

第三隔板上通常設(shè)置有開口，抽氣區(qū)域內(nèi)通常設(shè)置有管道，抽氣設(shè)備工作時(shí)，工藝槽體區(qū)域中的酸氣從開口進(jìn)入管道，然后通過管道排出至外殼外部，當(dāng)管道內(nèi)的酸氣過多使得酸氣無(wú)法及時(shí)排出時(shí)，會(huì)導(dǎo)致酸氣回流至開口處，然后回流至工藝槽體區(qū)域，酸氣在外殼內(nèi)部來(lái)回流動(dòng)，造成氣體的不良循環(huán)，且會(huì)對(duì)外殼內(nèi)的機(jī)器造成腐蝕。

實(shí)用新型內(nèi)容

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，本實(shí)用新型的目的在于提供一種適用于濕法設(shè)備的FFU系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)循環(huán)結(jié)構(gòu)，用于防止酸氣回流。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供了如下技術(shù)方案：一種適用于濕法設(shè)備的FFU系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)循環(huán)結(jié)構(gòu)，包括外殼，所述外殼內(nèi)設(shè)置有分隔組件，所述分隔組件用以將氣流空間分隔成第一空間和第二空間，第三隔板上設(shè)置有兩個(gè)通氣組件，所述通氣組件用以將工藝槽體區(qū)域和排氣區(qū)域相互連通，第三隔板遠(yuǎn)離工藝槽體區(qū)域的一側(cè)設(shè)置有容納組件，所述容納組件用以防止酸氣回流，所述容納組件包括容納盒，所述容納盒內(nèi)開設(shè)有容納槽，第二隔板上設(shè)置有阻擋組件，所述阻擋組件包括擋板，所述擋板用以防止凝結(jié)液進(jìn)入所述通氣組件，排氣區(qū)域內(nèi)設(shè)置有排氣管，所述排氣管內(nèi)設(shè)置有調(diào)節(jié)組件，所述調(diào)節(jié)組件用以調(diào)節(jié)所述排氣管開口的大小，當(dāng)抽氣設(shè)備工作時(shí)，酸氣依次通過所述通氣組件、所述容納組件和所述排氣管；

所述氣流空間上設(shè)置有導(dǎo)流組件，所述導(dǎo)流組件包括第一導(dǎo)流板和第二導(dǎo)流板，所述第一導(dǎo)流板和所述第二導(dǎo)流板的一端均與外殼頂壁固定連接，所述第一導(dǎo)流板和所述第二導(dǎo)流板均傾斜設(shè)置，且所述第一導(dǎo)流板和所述第二導(dǎo)流板靠近外殼頂面的一端之間的距離大于所述第一導(dǎo)流板和所述第二導(dǎo)流板遠(yuǎn)離所述外殼頂面的一端之間的距離，所述外殼上設(shè)置有隱蔽組件，所述隱蔽組件包括走線殼體，所述走線殼體上開設(shè)有走線槽，所述走線槽用以收納FFU殼體的電線，所述走線殼體側(cè)面開設(shè)有第一通孔，所述第一通孔與所述走線槽相互貫通，F(xiàn)FU殼體與所述走線殼體之間設(shè)置有嵌合組件，所述嵌合組件包括連接件，所述連接件與所述走線殼體之間設(shè)置有嵌合部，所述嵌合部包括彈壓鍵，所述彈壓鍵與所述第一通孔相適配，以使所述彈壓鍵的一部分位于所述走線槽內(nèi)，電線穿過所述連接件和所述彈壓鍵進(jìn)入所述走線槽內(nèi)，所述外殼上設(shè)置有定位組件，所述定位組件包括兩個(gè)第一定位部，兩個(gè)所述第一定位部之間形成有容納空間，所述容納空間用以容納FFU殼體，所述第一定位部包括第一定位板和兩個(gè)第二定位板，兩個(gè)所述第二定位板通過所述第一定位板一體形成，其中一個(gè)所述第一定位板位于FFU殼體與所述走線殼體之間，且開設(shè)有第二通孔。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述分隔組件包括第一分隔板和第二分隔板，所述第一分隔板與第一隔板頂面可拆卸連接，所述第二分隔板與所述外殼頂壁可拆卸連接，所述第二分隔板位于所述第一分隔板上方，所述第一分隔板和所述第二分隔板之間留有間隙。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，第二隔板上開設(shè)有兩個(gè)連通孔，所述通氣組件包括連接板，所述連接板與所述連通孔相適配且一一對(duì)應(yīng)，所述連接板上設(shè)置有若干組通氣部，所述通氣部包括若干個(gè)并列設(shè)置的通氣孔，所述連通孔上均設(shè)置有過濾網(wǎng)，所述通氣孔用以酸氣流通。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述擋板上設(shè)置有若干阻擋件，所述阻擋件用以防止凝結(jié)液下落。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述調(diào)節(jié)組件包括調(diào)節(jié)板和調(diào)節(jié)桿，所述調(diào)節(jié)桿與所述排氣管內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述調(diào)節(jié)桿與所述調(diào)節(jié)板可拆卸連接，所述調(diào)節(jié)板上設(shè)置有氣壓傳感器，所述氣壓傳感器用以檢測(cè)排氣管內(nèi)的氣壓，以便于根據(jù)氣壓對(duì)排氣管的開口大小進(jìn)行調(diào)節(jié)。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述排氣管的內(nèi)徑沿靠近所述連通孔至遠(yuǎn)離所述連通孔逐漸減小，所述排氣管內(nèi)壁上設(shè)置有保護(hù)層，使得酸氣的流速加快。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，兩個(gè)所述連通孔均與所述容納槽相互貫通，所述容納盒的長(zhǎng)度與第三隔板的長(zhǎng)度相同，所述容納盒的高度大于所述連接板的高度，所述容納盒的寬度小于所述排氣管長(zhǎng)度的四分之一，且大于所述排氣管長(zhǎng)度的五分之一，所述容納盒用以防止酸氣回流。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，外殼上設(shè)置有氣氛部，氣氛部包括第一氣氛導(dǎo)流孔和第二氣氛導(dǎo)流孔，所述第一氣氛導(dǎo)流孔和所述第二氣氛導(dǎo)流孔均開設(shè)于外殼頂面，所述第一氣氛導(dǎo)流孔與所述第一空間相互貫通，所述第二氣氛導(dǎo)流孔與所述第二空間相互貫通，所述第一氣氛導(dǎo)流孔和所述第二氣氛導(dǎo)流孔之間形成有連接段，所述第二分隔板與所述連接段可拆卸連接，所述第一導(dǎo)流板位于所述第一空間內(nèi)，所述第二導(dǎo)流板位于所述第二空間內(nèi)，F(xiàn)FU系統(tǒng)通過所述第一氣氛導(dǎo)流孔和所述第二氣氛導(dǎo)流孔向所述外殼內(nèi)部注入氣流，使得氣流可以進(jìn)入第一空間和第二空間。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，兩個(gè)所述第一定位部之間設(shè)置有兩個(gè)第二定位部，所述第一定位部與所述第二定位部一一對(duì)應(yīng)，所述第二定位部包括第三定位板，所述第三定位板與相對(duì)應(yīng)的所述第一定位板相互平行，且所述第三定位板與相對(duì)應(yīng)的所述第一定位板之間設(shè)置有若干彈性件，通過彈性件使得FFU殼體在外殼上方保持穩(wěn)定。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述外殼底部設(shè)置有若干萬(wàn)向輪，所述萬(wàn)向輪便于外殼移動(dòng)至其他位置。

本實(shí)用新型的有益效果：本實(shí)用新型通過在外殼內(nèi)設(shè)置分隔組件，使得氣流空間分隔成第一空間和第二空間，通過在第三隔板上設(shè)置兩個(gè)通氣組件，使得工藝槽體區(qū)域和排氣區(qū)域相互連通，通過在第三隔板上設(shè)置容納組件，以防止酸氣回流，通過在第二隔板上設(shè)置阻擋組件，以防止凝結(jié)液進(jìn)入通氣組件，通過在排氣管內(nèi)設(shè)置調(diào)節(jié)組件，以調(diào)節(jié)排氣管開口的大小，通過在氣流空間上設(shè)置導(dǎo)流組件，以加快氣流空間內(nèi)氣體的流速，通過在外殼上設(shè)置隱蔽組件，以收納FFU殼體的電線，通過在FFU殼體和走線殼體之間設(shè)置嵌合組件，使得FFU殼體與走線殼體相互貫通，通過在外殼上設(shè)置定位組件，以定位FFU殼體。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型的立體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本實(shí)用新型圖1中A處的放大結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是本實(shí)用新型的主視結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4是本實(shí)用新型圖3中B處的放大結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5是本實(shí)用新型的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖標(biāo)記：1、分隔組件；11、第一分隔板；12、第二分隔板；2、通氣組件；21、連接板；22、通氣部；3、容納組件；31、容納盒；4、阻擋組件；41、擋板；5、調(diào)節(jié)組件；51、調(diào)節(jié)板；52、調(diào)節(jié)桿；6、導(dǎo)流組件；61、第一導(dǎo)流板；62、第二導(dǎo)流板；7、隱蔽組件；71、走線殼體；8、嵌合組件；81、連接件；82、嵌合部；83、彈壓鍵；9、定位組件；91、第一定位板；92、第二定位板；10、排氣管；13、氣氛部；131、第一氣氛導(dǎo)流孔；132、第二氣氛導(dǎo)流孔；133、連接段；14、萬(wàn)向輪。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步詳細(xì)說明。其中相同的零部件用相同的附圖標(biāo)記表示。需要說明的是，下面描述中使用的詞語(yǔ)“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附圖中的方向，詞語(yǔ)“底面”和“頂面”、“內(nèi)”和“外”分別指的是朝向或遠(yuǎn)離特定部件幾何中心的方向。

參照?qǐng)D1至圖5所示，本實(shí)施例的一種適用于濕法設(shè)備的FFU系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)循環(huán)結(jié)構(gòu)，包括外殼，外殼內(nèi)設(shè)置有分隔組件1，分隔組件1用以將氣流空間分隔成第一空間和第二空間，氣流空間位于機(jī)械手臂區(qū)域和工藝槽體區(qū)域上方，第一空間位于機(jī)器手臂區(qū)域上方，第二空間位于工藝槽體區(qū)域上方，工藝槽體區(qū)域中會(huì)進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)，化學(xué)反應(yīng)會(huì)產(chǎn)生酸氣，酸氣一般會(huì)往上揮發(fā)，工藝槽體一側(cè)設(shè)置有抽氣區(qū)域，可以將部分酸氣抽至外殼外部進(jìn)行排放處理，但仍有少部分酸氣會(huì)繼續(xù)往上揮發(fā)，進(jìn)入第二空間，分隔組件1包括第一分隔板11和第二分隔板12，通過第一分隔板11和第二分隔板12將機(jī)器手臂區(qū)域和工藝槽體區(qū)域相互貫通的空間減小，使得從第二空間流通至第一空間的酸氣減少，防止酸氣對(duì)機(jī)器手臂區(qū)域的器械造成腐蝕，第一分隔板11與第一隔板頂面可拆卸連接，第二分隔板12與外殼頂壁可拆卸連接，第一分隔板11和第二分隔板12通過螺栓分別與第一隔板和外殼可拆卸連接，當(dāng)?shù)谝环指舭?1和第二分隔板12受到酸氣腐蝕而損壞時(shí)，便于快速進(jìn)行替換，第二分隔板12位于第一分隔板11上方，第一分隔板11和第二分隔板12之間留有間隙，使得第一空間和第二空間相互貫通，便于形成良好的循環(huán)。

第三隔板上設(shè)置有兩個(gè)通氣組件2，通氣組件2用以將工藝槽體區(qū)域和排氣區(qū)域相互連通，使得酸氣可以從工藝槽體區(qū)域流至排氣區(qū)域，從而對(duì)酸氣進(jìn)行排出，并通過調(diào)節(jié)組件5控制酸氣排出的量，以維持氣體環(huán)境的穩(wěn)定，第二隔板上開設(shè)有兩個(gè)連通孔，通常直接在第二隔板上開設(shè)一個(gè)較大范圍的開口，抽氣設(shè)備直接通過開口對(duì)酸氣進(jìn)行抽取，酸氣抽出的效率不高，設(shè)置兩個(gè)連通孔，使得酸氣抽出的效率相比開設(shè)一個(gè)開口高，通氣組件2包括連接板21，連接板21與連通孔相適配且一一對(duì)應(yīng)，連接板21可以將連通孔覆蓋，使得酸氣通過通氣孔向排氣區(qū)域流通，從而對(duì)酸氣進(jìn)行排出，并通過調(diào)節(jié)組件5控制酸氣排出的量，以維持氣體環(huán)境的穩(wěn)定，連接板21上設(shè)置有若干組通氣部22，通氣部22包括若干個(gè)并列設(shè)置的通氣孔，通氣孔的橫截面積較小，工藝槽體區(qū)域的空間較大，當(dāng)抽氣設(shè)備工作時(shí)，酸氣從工藝槽體區(qū)域流向通氣孔，使得靠近通氣孔的酸氣的流速大于遠(yuǎn)離通氣孔的酸氣的流速，酸氣流速加快，使得酸氣抽出的效率提高，防止了酸氣腐蝕機(jī)器，連通孔上均設(shè)置有過濾網(wǎng)，防止其他雜物被吸入排氣管10，將排氣管10堵塞。

第三隔板遠(yuǎn)離工藝槽體區(qū)域的一側(cè)設(shè)置有容納組件3，容納組件3用以防止酸氣回流，當(dāng)排氣管10內(nèi)的酸氣過多使得酸氣無(wú)法及時(shí)排出時(shí)，會(huì)導(dǎo)致酸氣回流至通氣孔，然后回流至工藝槽體區(qū)域，酸氣在外殼內(nèi)部來(lái)回流動(dòng)，造成氣體的不良循環(huán)，且會(huì)對(duì)外殼內(nèi)的機(jī)器造成腐蝕，因此需要在連接板21和排氣管10之間設(shè)置容納組件3，通過通納組件防止酸氣回流，容納組件3包括容納盒31，容納盒31內(nèi)開設(shè)有容納槽，兩個(gè)連通孔均與容納槽相互貫通，容納盒31的長(zhǎng)度與第三隔板的長(zhǎng)度相同，容納盒31的高度大于連接板21的高度，容納盒31的寬度小于排氣管10長(zhǎng)度的四分之一，且大于排氣管10長(zhǎng)度的五分之一，當(dāng)抽氣設(shè)備工作時(shí)，酸氣從工藝槽體區(qū)域通過通氣組件2，然后進(jìn)入容納槽內(nèi)，容納盒31內(nèi)的空間較大，防止酸氣流速過快時(shí)，容納盒31被酸氣充滿，酸氣回流至工藝槽體區(qū)域，對(duì)機(jī)器造成腐蝕。

第二隔板上設(shè)置有阻擋組件4，抽氣設(shè)備工作時(shí)，工藝槽體區(qū)域內(nèi)的壓力和溫度會(huì)發(fā)生變化，使得濕法化學(xué)反應(yīng)過程中產(chǎn)生的液體形成凝結(jié)液，阻擋組件4用以防止凝結(jié)液進(jìn)入通氣組件2，阻擋組件4包括擋板41，擋板41用以防止凝結(jié)液進(jìn)入通氣組件2，當(dāng)抽氣設(shè)備工作時(shí)，凝結(jié)液在抽氣設(shè)備的帶動(dòng)下向通氣組件2流動(dòng)，在到達(dá)通氣組件2所在處之前，先到達(dá)擋板41處，因此會(huì)附著在擋板41上，避免了凝結(jié)液到達(dá)通氣組件2所在處并附著在通氣組件2上，不影響酸氣的正常流通。擋板41上設(shè)置有若干阻擋件(圖中未示出)，阻擋件用以防止凝結(jié)液下落，阻擋件為四個(gè)阻擋板41，阻擋板41并列固定在擋板41上，凝結(jié)液附著在擋板41上時(shí)，可能會(huì)向下滑落，通過擋板41將滑落的凝結(jié)液收集在擋板41上，防止凝結(jié)液向下滴落污染機(jī)器。

排氣區(qū)域內(nèi)設(shè)置有排氣管10，排氣管10的一端與容納槽相互貫通，排氣管10的另一端與抽氣設(shè)備連通，當(dāng)抽氣設(shè)備工作時(shí)，酸氣從工藝槽體區(qū)域通過通氣組件2，進(jìn)入容納槽內(nèi)，然后通過排氣管10被排出至外殼外部，有效的排出酸氣，使得酸氣無(wú)法對(duì)機(jī)器造成腐蝕，當(dāng)抽氣設(shè)備工作時(shí)，酸氣依次通過通氣組件2、容納組件3和排氣管10，排氣管10內(nèi)設(shè)置有調(diào)節(jié)組件5，調(diào)節(jié)組件5用以調(diào)節(jié)排氣管10開口的大小，當(dāng)外殼內(nèi)氣體過多時(shí)，通過調(diào)節(jié)組件5將排氣管10的開口調(diào)大，使得抽氣設(shè)備向外殼外部抽出的氣體增多，當(dāng)外殼內(nèi)氣體不多時(shí)，通過調(diào)節(jié)組件5將排氣管10的開口調(diào)小，使得抽氣設(shè)備向外殼外部抽出的氣體減少，從而維持外殼內(nèi)部氣體環(huán)境的相對(duì)穩(wěn)定，調(diào)節(jié)組件5包括調(diào)節(jié)板51和調(diào)節(jié)桿52，當(dāng)外殼內(nèi)的氣體過多時(shí)，通過調(diào)節(jié)桿52在排氣管10內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)調(diào)節(jié)板51在排氣管10內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)，使得調(diào)節(jié)板51的頂部和底部與排氣管10內(nèi)壁的間距變大，使得排氣管10的開口增大，抽氣設(shè)備向外殼外部抽出的氣體增多，當(dāng)外殼內(nèi)的氣體過少時(shí)，通過調(diào)節(jié)桿52在排氣管10內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)調(diào)節(jié)板51在排氣管10內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)，使得調(diào)節(jié)板51的頂部和底部與排氣管10內(nèi)壁的間距變小，使得排氣管10的開口增小，抽氣設(shè)備向外殼外部抽出的氣體減少，從而維持外殼內(nèi)部氣體環(huán)境的相對(duì)穩(wěn)定，調(diào)節(jié)桿52與排氣管10內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接，調(diào)節(jié)桿52與調(diào)節(jié)板51可拆卸連接，調(diào)節(jié)板51上設(shè)置有氣壓傳感器。通過氣壓傳感器對(duì)外殼內(nèi)氣體的多少進(jìn)行檢測(cè)，當(dāng)氣壓傳感器檢測(cè)到外殼內(nèi)的氣體壓強(qiáng)過大時(shí)，表示外殼內(nèi)部氣體過多，通過調(diào)節(jié)桿52在排氣管10內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)調(diào)節(jié)板51在排氣管10內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)，使得調(diào)節(jié)板51的頂部和底部與排氣管10內(nèi)壁的間距變大，使得排氣管10的開口增大，抽氣設(shè)備向外殼外部抽出的氣體增多，當(dāng)氣壓傳感器檢測(cè)到外殼內(nèi)的氣體壓強(qiáng)過小時(shí)，表示外殼內(nèi)部氣體過少，通過調(diào)節(jié)桿52在排氣管10內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)調(diào)節(jié)板51在排氣管10內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)，使得調(diào)節(jié)板51的頂部和底部與排氣管10內(nèi)壁的間距變小，抽氣設(shè)備向外殼外部抽出的氣體減少，使得氣體環(huán)境保持相對(duì)穩(wěn)定。排氣管10的內(nèi)徑沿靠近連通孔至遠(yuǎn)離連通孔逐漸減小，酸氣經(jīng)過排氣管10時(shí)，酸氣可以流通的空間逐漸減小，使得酸氣的流速增大，加快了酸氣排出的速度，排氣管10內(nèi)壁上設(shè)置有保護(hù)層，所述防護(hù)層的材料為三聚乙烯，保護(hù)層用以保護(hù)排氣管10，防止長(zhǎng)時(shí)間酸氣經(jīng)過排氣管10導(dǎo)致排氣管10被腐蝕。

參照?qǐng)D1至圖5所示，外殼上設(shè)置有氣氛部13，外殼頂面設(shè)置有FFU系統(tǒng)，F(xiàn)FU系統(tǒng)包括FFU殼體，F(xiàn)FU系統(tǒng)通過第一氣氛導(dǎo)流孔131和第二氣氛導(dǎo)流孔132向外殼內(nèi)部注入新鮮的氣體，在新鮮氣體的流動(dòng)作用下將酸氣帶回至工藝槽體區(qū)域，通過抽氣設(shè)備進(jìn)行排出，氣氛部13包括第一氣氛導(dǎo)流孔131和第二氣氛導(dǎo)流孔132，第一氣氛導(dǎo)流孔131和第二氣氛導(dǎo)流孔132均開設(shè)于外殼頂面，第一氣氛導(dǎo)流孔131與第一空間相互貫通，第二氣氛導(dǎo)流孔132與第二空間相互貫通，F(xiàn)FU系統(tǒng)位于外殼上方，F(xiàn)FU系統(tǒng)通過第一氣氛導(dǎo)流孔131和第二氣氛導(dǎo)流孔132與外殼內(nèi)部相互貫通，F(xiàn)FU系統(tǒng)通過第一氣氛導(dǎo)流孔131向第一空間內(nèi)通氣，通過第二氣氛導(dǎo)流孔132向第二空間內(nèi)通氣，以使酸氣無(wú)法在第一空間和第二空間停留，保護(hù)器械不受損傷，第一氣氛導(dǎo)流孔131和第二氣氛導(dǎo)流孔132之間形成有連接段133，第二分隔板12與連接段133可拆卸連接，第二分隔板12通過螺栓與連接段133可拆卸連接，當(dāng)?shù)诙指舭?2受到酸氣腐蝕而損壞時(shí)，便于快速進(jìn)行替換。

氣流空間上設(shè)置有導(dǎo)流組件6，通過設(shè)置導(dǎo)流組件6，可以加快FFU系統(tǒng)向第一空間和第二空間內(nèi)注入的氣流的流速，使得酸氣在流速較快的氣體的作用下，流回工藝槽體區(qū)域上方，進(jìn)而通過抽氣區(qū)域進(jìn)行抽離，導(dǎo)流組件6包括第一導(dǎo)流板61和第二導(dǎo)流板62，第一導(dǎo)流板61和第二導(dǎo)流板62的一端均與外殼頂壁固定連接，第一導(dǎo)流板61和第二導(dǎo)流板62均傾斜設(shè)置，且第一導(dǎo)流板61和第二導(dǎo)流板62靠近外殼頂面的一端之間的距離大于第一導(dǎo)流板61和第二導(dǎo)流板62遠(yuǎn)離外殼頂面的一端之間的距離，第一導(dǎo)流板61位于第一空間內(nèi)，第一導(dǎo)流板61傾斜設(shè)置，第一導(dǎo)流板61與第二分隔板12之間的距離沿外殼頂部至外殼底部越來(lái)越小，當(dāng)FFU系統(tǒng)的氣體從上往下經(jīng)過第一導(dǎo)流板61時(shí)，氣流流通的空間越來(lái)越小，因此氣流的流速會(huì)變快，第一空間處的氣體流速快，而第一分隔板11與第二分隔板12之間的間隙處的酸氣的流速緩慢，因此酸氣無(wú)法通過第一分隔板11與第二分隔板12之間的間隙進(jìn)入第一空間，無(wú)法腐蝕機(jī)器手臂區(qū)域內(nèi)的器械，第二導(dǎo)流板62位于第二空間內(nèi)，第二導(dǎo)流板62傾斜設(shè)置，第二導(dǎo)流板62與第二分隔板12之間的距離沿外殼頂部至外殼底部越來(lái)越小，當(dāng)FFU系統(tǒng)的氣體從上往下經(jīng)過第二導(dǎo)流板62時(shí)，氣流流通的空間越來(lái)越小，因此氣流的流速會(huì)變快，第二空間處的氣體流速較快，而第二空間內(nèi)的酸氣的流速較為緩慢，因此第二空間內(nèi)的酸氣可以在第二空間的氣體的流動(dòng)下一起遠(yuǎn)離第二空間，然后通過抽氣設(shè)備進(jìn)行抽除。

外殼上設(shè)置有隱蔽組件7，隱蔽組件7包括走線殼體71，F(xiàn)FU系統(tǒng)需要布線，電線長(zhǎng)時(shí)間裸露在空氣中會(huì)使得電線上堆積大量的灰塵，從而加快電線老化的速度，增加安全隱患，通過設(shè)置走線殼體71使得FFU系統(tǒng)的電線可以被收納在走線槽內(nèi)，以防止電線老化，走線殼體71上開設(shè)有走線槽，走線槽用以收納FFU殼體的電線，防止電線沾灰，走線殼體71側(cè)面開設(shè)有第一通孔，第一通孔與走線槽相互貫通，第一通孔用以連接彈壓鍵83，彈壓鍵83與第一通孔相互卡合，使得通過彈壓鍵83進(jìn)入第一通孔的電線不會(huì)因?yàn)閺棄烘I83與第一通孔相互脫離而遭到損壞。

FFU殼體與走線殼體71之間設(shè)置有嵌合組件8，通過設(shè)置嵌合組件8，使得FFU殼體與走線殼體71之間的電線可以相互貫通，使得電線可以被收納，嵌合組件8包括連接件81，連接件81與走線殼體71之間設(shè)置有嵌合部82，嵌合部82使得連接件81與走線殼體71相互連接，不會(huì)脫離，防止通過連接件81進(jìn)入走線殼體71的電線因?yàn)檫B接件81與走線殼體71相互脫離而遭到損壞，嵌合部82包括彈壓鍵83，彈壓鍵83與第一通孔相適配，以使彈壓鍵83的一部分位于走線槽內(nèi)，電線穿過連接件81和彈壓鍵83進(jìn)入走線槽內(nèi)，當(dāng)需要將彈壓鍵83和第一通孔連接時(shí)，操作人員將彈壓鍵83塞入第一通孔內(nèi)，以使彈壓鍵83與第一通孔相互卡合，使得彈壓鍵83無(wú)法從第一通孔脫離，彈壓鍵83的一部分位于走線槽內(nèi)，此時(shí)電線可以穿過連接件81和彈壓鍵83進(jìn)入走線槽內(nèi)。

外殼上設(shè)置有定位組件9，通過設(shè)置定位組件9使得FFU殼體能有效安裝，使得FFU殼體在外殼上方保持穩(wěn)定，防止FFU系統(tǒng)的氣流直接通過FFU殼體與外殼頂面之間的間隙向外殼外部流通，保證裝置的氣密性，定位組件9包括兩個(gè)第一定位部，兩個(gè)第一定位部之間形成有容納空間，容納空間用以容納FFU殼體，第一定位部包括第一定位板91和兩個(gè)第二定位板92，兩個(gè)第二定位板92通過第一定位板91一體形成，其中一個(gè)第一定位板91位于FFU殼體與走線殼體71之間，且開設(shè)有第二通孔，連通孔用以穿過連接件81，以使連接件81的一端可以與FFU殼體連接，使得FFU系統(tǒng)的電線可以通過連接件81進(jìn)入走線殼體71內(nèi)進(jìn)行收納，兩個(gè)第一定位部之間設(shè)置有兩個(gè)第二定位部(圖中未示出)，第一定位部與第二定位部一一對(duì)應(yīng)，第二定位部包括第三定位板，第三定位板與相對(duì)應(yīng)的第一定位板91相互平行，且第三定位板與相對(duì)應(yīng)的第一定位板91之間設(shè)置有若干彈性件，所述彈性件為彈簧，所述彈簧的數(shù)量為四個(gè)，當(dāng)需要固定FFU殼體時(shí)，操作人員將FFU殼體塞入兩個(gè)第三定位板之間的空間，通過FFU殼體向外擠壓相對(duì)設(shè)置的兩塊第三定位板，使得第一定位板91和第三定位板之間的壓縮彈簧受力壓縮，FFU殼體進(jìn)入兩個(gè)第三定位板之間的空間，通過壓縮彈簧的回復(fù)力使得FFU殼體在兩個(gè)第三定位板之間被固定，防止FFU系統(tǒng)的氣流直接通過FFU殼體與外殼頂面之間的間隙向外殼外部流通，保證裝置的氣密性。外殼底部設(shè)置有若干萬(wàn)向輪14，所述萬(wàn)向輪14的數(shù)量為四個(gè)，當(dāng)需要在其他地方進(jìn)行濕法實(shí)驗(yàn)時(shí)，不需要操作人員費(fèi)力搬動(dòng)外殼，通過萬(wàn)向輪14便于將外殼移動(dòng)至需要進(jìn)行實(shí)驗(yàn)的地方進(jìn)行濕法實(shí)驗(yàn)。

工作原理：當(dāng)需要固定FFU殼體時(shí)，操作人員將FFU殼體塞入兩個(gè)第三定位板之間的空間，通過FFU殼體向外擠壓相對(duì)設(shè)置的兩塊第三定位板，使得第一定位板91和第三定位板之間的壓縮彈簧受力壓縮，F(xiàn)FU殼體進(jìn)入兩個(gè)第三定位板之間的空間，通過壓縮彈簧的回復(fù)力使得FFU殼體在兩個(gè)第三定位板之間被固定，防止FFU系統(tǒng)的氣流直接通過FFU殼體與外殼頂面之間的間隙向外殼外部流通，保證裝置的氣密性。連接件81的一端與FFU殼體連接，連接件81的另一端連接有彈壓鍵83，當(dāng)需要將彈壓鍵83和走線殼體71連接時(shí)，操作人員將彈壓鍵83塞入第一通孔內(nèi)，以使彈壓鍵83與第一通孔相互卡合，使得彈壓鍵83無(wú)法從第一通孔脫離，彈壓鍵83的一部分位于走線槽內(nèi)，此時(shí)FFU系統(tǒng)的電線可以穿過連接件81和彈壓鍵83收納在走線槽內(nèi)。

FFU系統(tǒng)通過第一氣氛導(dǎo)流孔131向第一空間內(nèi)通氣，通過第二氣氛導(dǎo)流孔132向第二空間內(nèi)通氣，第一空間內(nèi)的氣流通過第一空間后向機(jī)器手臂區(qū)域流通，第二空間內(nèi)的氣流通過第二空間后向工藝槽體區(qū)域流通，工藝槽體區(qū)域內(nèi)進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)之后，酸氣向上揮發(fā)至第二空間，通過第一分隔板11和第二分隔板12使得酸氣難以進(jìn)入第一空間，使得機(jī)器手臂區(qū)域的器械不受腐蝕，第一導(dǎo)流板61傾斜設(shè)置，氣流從上往下流經(jīng)第一導(dǎo)流板61后，氣流的速度變快，從而防止第二空間中的酸氣進(jìn)入第一空間，腐蝕機(jī)器手臂區(qū)域內(nèi)的器械，第二導(dǎo)流板62傾斜設(shè)置，氣流從上往下流經(jīng)第二導(dǎo)流板62后，氣流的速度變快，第二空間處的氣體流速較快，而第二空間內(nèi)的酸氣的流速較為緩慢，因此第二空間內(nèi)的酸氣可以在第二空間的氣體的帶動(dòng)下一起遠(yuǎn)離第二空間，之后通過抽氣設(shè)備進(jìn)行抽除。

當(dāng)抽氣設(shè)備工作時(shí)，工藝槽體區(qū)域內(nèi)的壓力和溫度會(huì)發(fā)生變化，使得濕法化學(xué)反應(yīng)過程中產(chǎn)生的液體形成凝結(jié)液，凝結(jié)液在抽氣設(shè)備的帶動(dòng)下向通氣組件2流動(dòng)，在到達(dá)通氣組件2所在處之前，先到達(dá)擋板41處，因此會(huì)附著在擋板41上，避免了凝結(jié)液到達(dá)通氣組件2所在處并附著在通氣組件2上，不影響酸氣的正常流通。當(dāng)氣體經(jīng)過通氣組件2的通氣孔時(shí)，由于通氣孔的橫截面積較小，工藝槽體區(qū)域的空間較大，酸氣從工藝槽體區(qū)域流向通氣孔，使得靠近通氣孔的酸氣的流速大于遠(yuǎn)離通氣孔的酸氣的流速，酸氣流速加快，使得酸氣抽出的效率提高，防止了酸氣腐蝕機(jī)器。當(dāng)氣體經(jīng)過容納組件3的容納槽時(shí)，由于容納盒31內(nèi)的空間較大，防止了酸氣流速過快時(shí)，容納盒31被酸氣充滿，酸氣回流至工藝槽體區(qū)域，對(duì)機(jī)器造成腐蝕，當(dāng)氣體流經(jīng)排氣管10時(shí)，通過排氣管10內(nèi)的調(diào)節(jié)組件5對(duì)氣體流出量進(jìn)行調(diào)節(jié)，當(dāng)氣壓傳感器檢測(cè)到外殼內(nèi)的氣體壓強(qiáng)過大時(shí)，表示外殼內(nèi)部氣體過多，通過調(diào)節(jié)桿52在排氣管10內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)調(diào)節(jié)板51在排氣管10內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)，使得調(diào)節(jié)板51的頂部和底部與排氣管10內(nèi)壁的間距變大，使得排氣管10的開口增大，抽氣設(shè)備向外殼外部抽出的氣體增多，當(dāng)氣壓傳感器檢測(cè)到外殼內(nèi)的氣體壓強(qiáng)過小時(shí)，表示外殼內(nèi)部氣體過少，通過調(diào)節(jié)桿52在排氣管10內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)調(diào)節(jié)板51在排氣管10內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)，使得調(diào)節(jié)板51的頂部和底部與排氣管10內(nèi)壁的間距變小，抽氣設(shè)備向外殼外部抽出的氣體減少，使得氣體環(huán)境保持相對(duì)穩(wěn)定。

以上僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍并不僅局限于上述實(shí)施例，凡屬于本實(shí)用新型思路下的技術(shù)方案均屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說，在不脫離本實(shí)用新型原理前提下的若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。